精密機器の高精度化および高速化を図るためには、振動制御の観点に立って、機構および制御系を構築せねばならない。そのため、以下の取り組みを行っている。
(1)絶対変位センサの開発：機械振動の検出のため、加速度、速度、そして変位の3信号を同時に検出できる絶対変位センサを開発した。振動の観測のみならず、直接フィードバックするための信号としても活用できることを、空圧式除振装置を用いて実機検証した。
(2)空圧式除振装置の高度化：精密計測・精密位置決め実現のためには、空圧式除振装置を備えることが必須となっている。そこで、同装置の高度化を目指して、除振率向上を目的とした低固有値化のための制御系の提案、コストダウンを目的としたセンサレス制御の実現、そして外乱除去のための外乱オブザーバの実装を行った。
(3)空圧式除振装置に対する地震耐性付与：地震を検知して以降、フィードバックあるいはフィードフォワードのパラメータを切り替える方式の検討を進めている。
(4)空圧ステージの高精度化：位置決め機構としては、空気圧を駆動源とする空圧ステージがある。本質的に緩慢な応答しか実現されないが、この高精度化に取り組んでいる。具体的には、ジャーク信号のフィードバックによって整定時間の短縮が実現できている。
(5)ジャークセンサの実現：サイズモ形センサとして、加速度および速度センサが市販されている。上記(1)は原理確認および応用例を示したが、市販されている状態にはなっていない。これらのセンサに加えて、サイズモ形でジャーク信号を検出する原理を提案している。地震計を改造した検証によって、ジャークセンサの実現が図れている。

In the field of ultraprecise positioning, advanced control schemes are needed. In order to present solutions, we develop following items.
(1)Absolute displacement sensor: An absolute displacement sensor has been proposed for precise vibration control of semiconductor manufacturing equipments. Based on state feedback, a control model of the sensor is designed.
(2)Air type anti-vibration apparatus: In the field of precision measurement and positioning, air-type anti-vibration apparatuses are commonly used. To realize the low vibration circumstance, some fundamental developments that decrease the natural frequency of isolated table are carried out.
(3) Control of a pneumatic anti-vibration apparatus under earthquake ground motion: When an earthquake occurs, in almost case, the anti-vibration apparatus becomes shutdown in order to avoid mechanical contact. In order to operate continuously, we proposed a switching control scheme by using the changeover concerning floor vibration feedforward and/or feedback parameters.
(4)Precise positioning of air stage: A unidirectional positioning stage which is supported by four coil-type spring isolators and actuated by four pneumatic cylinders is considered. The stage jerk feedback scheme (SJFB) with positive polarity is proposed to reduce the stagemass, resulting in the improvement of positioning speed.
(5) Jerk sensor: We propose a jerk sensor as seismic type to detect mechanical vibrations. By using the seismometer, the jerk signal can be detected.